深度*行业*半导体设备国产化专题十:12英寸工艺设备国产化

类别:行业 机构:中银国际证券股份有限公司 研究员:杨绍辉/陶波 日期:2021-07-22

据国际招标网中标数量统计,目前国内主要的4 条12 寸晶圆产线的整体国产化率不足15%。分设备类型来看,去胶设备的国产化水平最高,接近70%,CMP、刻蚀、清洗、热处理等工艺设备类别的国产化率均超20%,PVD 设备整体国产化率近15%,CVD、离子注入、量测、光刻、涂胶显影、镀铜等设备的国产化率均不足5%。

    报告要点

    12 英寸产线的工艺设备国产化平均水平接近13%。据中国国际招标网数据统计,长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期四个项目共累计采购数千台工艺设备,整体国产化率接近13%。

    清洗设备:盛美半导体在12 英寸国产清洗设备占据绝对领导地位。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购接近四百台清洗设备,按中标数量对应供应商排序依次是DNS、盛美半导体、TEL、Lam、JET、北方华创、芯源微。盛美半导体的市场份额仅次于DNS,是12 英寸清洗设备国产化的主导者,占据90%以上的国产清洗设备,国产厂商还包括北方华创、芯源微。

    镀铜:盛美半导体是国内镀铜设备的唯一国产供应商。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购近三十台镀铜设备,按中标数量对供应商排序依次是Lam和盛美半导体。

    CMP:华海清科目前是国内12 英寸CMP 设备的唯一供应商。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购的一百七十多台CMP 设备,按中标数量对供应商排序依次是AMAT、华海清科、荏原,华海清科是仅次于AMAT 的第二大CMP 供应商。

    PVD:北方华创是国内PVD 设备的唯一供应商。据中国国际招标网数据统计,4 个项目共累计采购的一百多台PVD 设备,按中标数量对供应商排序依次是AMAT、北方华创、SPTS 等,北方华创在部分12 英寸产线的PVD 设备中占比超过20%,是仅次于AMAT 的第二大PVD 供应商。

    刻蚀:中微公司、北方华创、屹唐股份三家合计实现刻蚀设备国产化率超20%。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购的六百多台刻蚀设备,按中标数量对供应商排序依次是Lam、TEL、中微公司、AMAT、北方华创、屹唐半导体等。中微公司、北方华创、屹唐半导体市占率合计占比超20%。

    其中中微公司在部分12 英寸产线上的CCP 刻蚀的订单份额达到35%左右。

    热处理:北方华创、屹唐半导体共实现热处理设备国产化率近23%。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购的五百多台热处理设备,按中标数量对供应商排序依次是TEL、北方华创、AMAT、日立国际电气、屹唐半导体等,国产化率近23%,北方华创贡献80-90%的国产热处理设备。

    CVD:沈阳拓荆专注于PECVD、ALD、SACVD 等,而盛美半导体等实现LPCVD国产化。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购的九百多台CVD 设备,按中标数量对供应商排序依次是AMAT、TEL、Lam、Kokusai、沈阳拓荆、ASM、盛美股份等,国产化率不足5%,但拓荆科技2018-2020 年营业收入依次是0.71、2.51、4.36 亿元,CVD业务发展十分迅速。

    去胶机:屹唐半导体在国内去胶设备市场份额排名第一。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购接近一百四十台去胶设备,按中标数量对供应商排序依次是屹唐半导体、日立国际电气、PSK、Lam、AMAT、DNS 等。

    光刻机:国产化刚刚起步,上海微电子装备已实现光刻机零的突破。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购近九十台光刻机,按中标数量对供应商排序依次是ASML、CANON、Nikon、上海微电子等。

    Track:涂胶显影机的国产化也刚刚起步,沈阳芯源是目前唯一一家实现12英寸涂胶显影设备订单突破的国产厂商。据中国国际招标网数据,4 个项目共计采购超一百台涂胶显影机,按中标数量对供应商排序依次是TEL、芯源微、SCREEN等。

    离子注入机:万业企业、中科信承担离子注入机的国产化。目前国内产线的离子注入机均主要依赖于应用材料、亚舍立两家公司,但国产厂商中,根据公司公告,万业企业已中标数台离子注入机订单,中科信已实现在部分产线上国产离子注入机零的突破。

    量测设备:国产化率不超过5%,上海精测半导体、中科飞测等引领量测设备国产化。参考各12 英寸产线统计数据,目前仅有上海精测半导体、中科飞测实现量测设备的持续的重复订单,但国产化率仍然较低,本土产线量测设备仍主要依赖于KLA、Onto、Nano、Nova、AMAT、ASML 等海外品牌。

    重点推荐

    个股方面,我们持续强烈推荐:中微公司、北方华创、精测电子、万业企业、长川科技、华峰测控、芯源微。关注盛美半导体、清溢光电、华特气体、晶盛机电。

    评级面临的主要风险

    客户项目进度低于预期;新产品工艺验证进度低于预期等。