半导体射频电源专题:激荡频波 驭势而行!

类别:行业 机构:天风证券股份有限公司 研究员:朱晔/张钰莹 日期:2024-03-05

  射频电源:高技术壁垒核心零部件

      射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源,虽然射频的频段很宽,但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz 至60MHz 之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展,市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。

      射频电源应用:

      1)半导体:刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2)光伏:PECVD、RPD等。3)面板:TFT阵列、CELL成盒制作等。

      半导体射频电源市场:国外头部企业垄断、市场集中度较高

      2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元,预计2029年将达到14.57亿美元,年复合增长率(CAGR)为11.18%(2023-2029)。中国市场(含中国台湾地区)2022年市场规模为96.6百万美元,约占全球的13.31%。

      2022年,全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪(AE)、日本大阪变压器株式会社,占有大约52.95%的市场份额。

      海外半导体射频电源公司如何发展:

      MKS:向半导体行业提供环形等离子体源的领导者,面向FinFET开发自适应脉冲技术,以一致的脉冲提供射频功率。

      AE:拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的Navigator II系列射频匹配网络,专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统,为多种工艺提供不同产品匹配方案。

      DAIHEN:1986年开始生产半导体制造设备用的射频发生器,使用内部等离子体评估室进行技术开发(如脉冲输出和频率调谐)、产品性能评估以及功能改进。

      相关标的:英杰电气、爱科赛博、北方华创等。

      风险提示:技术与产品研发风险、市场开拓风险、需求波动风险等。文中所提爱科赛博业绩预告数据仅为初步核算数据,准确的财务数据以公司正式披露的年报为准。