半导体行业：2月产线基建招标量显著 沉积类设备国产中标比例领先

　　核心观点：

    　　2 月招标量积塔领跑，基建项目的招标需求较大。2023 年2 月统计样本中的晶圆产线合计产生21 项招标。以积塔半导体、中芯国际、华虹半导体、粤芯半导体等产线招标为主。招标设备主要包括沉积、热处理、离子注入和清洗设备，主要为积塔特色工艺生产线招标。此外，基建项目主要为中芯国际招标，同时，粤芯半导体三期项目也开启部分基建项目招标。2023 年1-2 月，统计样本中的晶圆产线合计招标92 项，其中，积塔半导体、华虹半导体、中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设备招标以刻蚀、CVD、扩散、沉积设备为主。

    　　国产厂商卡位沉积类、刻蚀、炉管等设备领域，中标设备国产化比例为61%。中标方面，2023 年2 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标31 台设备，以刻蚀、炉管、CVD 设备居多；国产设备整体中标比例约61%，其中，CVD、PVD、外延、沉积、刻蚀、炉管设备的国产中标比例显著。2023 年1-2 月，统计样本中的晶圆产线合计中标71 台设备，以刻蚀、量测、炉管、PVD 设备居多；国产设备整体中标比例约51%，其中，气液系统、沉积、CVD、外延、检测、刻蚀、量测设备的国产中标比例较高。

    　　北方华创、万业企业、中微公司中标设备数量居多，对应工艺环节的中标比例为62%。2023 年2 月，国内半导体设备厂商合计中标16 台设备，供应商以北方华创、万业企业、中微公司为主。国内半导体设备在对应工艺环节的中标比例为62%。其中，北方华创的外延设备、万业企业的沉积设备和PVD 设备、北方华创的刻蚀设备以及万业企业的CVD 设备在对应工艺环节的中标比例领先。2023 年1-2 月，国内半导体设备厂商合计中标23 台设备，北方华创、万业企业中标量领先。

    　　2023 年1-2 月，图示国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为36%。其中，北方华创的外延设备、万业企业的沉积设备、北方华创的刻蚀设备、中科飞测的检测设备在对应工艺环节的中标比例领先。

    　　投资建议：在半导体设备市场规模趋稳，份额提升贡献主要增量的背景下，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、芯源微、拓荆科技、华海清科、中微公司*、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）

    　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。