半导体行业：积塔、华虹招标量居前 腐蚀/去胶/PVD国产中标比例领先

10 月合计招标70 项，以积塔、华虹、中芯、长鑫招标为主。2022 年10 月招标以积塔、华虹、中芯、长鑫产线为主，合计产生70 项招标。

    招标设备方面，整体以探针台、离子注入机、检测设备的招标量居多，其中，探针台、离子注入机主要为积塔特色工艺产线招标，检测设备主要为积塔和华虹招标。此外，基建项目主要为中芯国际临港12 英寸晶圆代工生产线和长鑫存储器项目产线招标。2022 年1-10 月，统计样本中的晶圆产线合计招标874 项，其中，积塔、华虹、燕东的设备招标量位居前三。整体而言，招标以量测设备、沉积类设备和刻蚀设备为主。

    1-10 月国产厂商在湿法腐蚀、去胶、PVD 设备方面中标居多。中标方面，2022 年10 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标4 台设备，包括检测、PVD、SACVD、热处理设备。2022 年1-10 月，统计样本中的晶圆产线合计中标906 台设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约29%，其中，硅片再生、气液系统、湿法腐蚀、去胶、PVD 设备的国产中标比例较高。

    1-10 月北方华创、中微公司、万业企业的国产设备在所处工艺领域的中标表现突出。2022 年1-10 月，国内半导体设备厂商合计中标208台设备，北方华创、中微公司、万业企业中标量位居前三位，分别中标59 台、22 台、21 台设备。其中，北方华创中标以刻蚀、氧化、PVD设备居多；中微公司中标则以刻蚀设备为主；万业企业中标以刻蚀、沉积、热处理设备为主。2022 年1-10 月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为26%。其中，盛美上海的硅片再生设备、北方华创的PVD 设备和氧化设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为67%、55%、54%。

    投资建议：在半导体设备市场规模趋稳，份额提升贡献主要增量的背景下，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、华海清科、拓荆科技、长川科技*、中微公司*、盛美上海*、芯源微、万业企业、至纯科技*、华峰测控*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）

    风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。