精测电子(300567)新品发布事件点评:明场检测设备领域取得重大进展 再次填补国内空白

类别:创业板 机构:民生证券股份有限公司 研究员:李哲/赵璐 日期:2022-03-13

事件:据精测电子公众号报道,孙公司上海精积微于3 月11 日发布明场检测BFI100 型设备,并已于当周”斩获”2 台该型号设备订单。该型号设备主要用于65nm-180nm 的半导体产线制程监控。首台设备将于今年10 月出机。

    仅三个月再获重大突破,填补国内空白。此次BFI100 型明场检测设备原型机经过两轮客户样品测试, 检测得到的缺陷使用上海精测半导体自主研发的eViewTM1000 型Review SEM 设备进行了一一复查核实,检测准确性得到了客户的高度认可。去年12 月公司在膜厚检测、电子束检测、OCD 等半导体检测领域取得进展,此次在明场检测领域再次取得突破,填补国内空白,表明公司经过几年高强度投入,已经进入成果转化期。

    明场检测设备“小光刻机”,打破国外垄断。明场检测设备属于缺陷检测类设备,一般用于有图形晶圆的缺陷检测,通过高质量的光学成像检测尺寸远小于光学衍射极限的缺陷,对光学镜头加工与安装精度、运动控制精度、照明光源亮度、抑制图像采集噪声、数据处理能力等都有极高的要求,往往接近同等工艺节点光刻机的苛刻技术要求。作为半导体前道检测必备的主设备,明场检测的核心技术一直被国外几家公司垄断,此次BFI100 为国内首个量产型号的明场检测设备,将有助于客户在该领域获得更高性价比的设备选型与应用服务。

    晶圆检测设备是第四大类半导体设备,国产替代势在必行。根据Semi 于2021年12 月14 日发布的年终报告数据,2021 年半导体设备总销售额将达到1030 亿美元,其中半导体测试设备市场规模增长29.6%至78 亿美元。2020 国内半导体设备市场占全球市场规模26.3%,假设2021 年这一比例保持不变,预计当年国内半导体测试设备市场规模为20.5 亿美元,约为130.5 亿元人民币,仅次于刻蚀、光刻、CVD 设备,是价值量第四大的半导体设备。晶圆检测设备是“一超多强”竞争格局,美国KLA Tencor 占据全球52%以上市场份额,是半导体设备国产替代不可回避的障碍,公司连续突破关键设备,有望担纲国产替代重任。

    投资建议:公司作为国内稀缺的检测设备企业,是半导体设备国产化的主力军,有望率先受益国内晶圆线建设浪潮。此外,公司显示面板检测设备、锂电设备也在高速增长中。预计公司21/22/23 年净利润2.19 亿、3.72 亿、5.73 亿,对应 P/E为 60x、35x、23x,考虑到公司在半导体检测领域的稀缺性,维持 “推荐”评级。

    风险提示:研发不及预期风险,下游需求不及预期风险,宏观经济波动风险。