国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期(2021年10月):中微公司干法刻蚀机台中标量上升

类别:行业 机构:光大证券股份有限公司 研究员:刘凯 日期:2021-10-20

  国内半导体设备9 月招投标数据(仅限于已公布的数据)国内晶圆厂商招标数据:

      中芯国际(绍兴):PVD+5 台,干法刻蚀+2 台,前道检测+3 台,退火+3 台,后道测试机+9 台,后道封装+30 台;

      华虹半导体:EPI+1 台,干法刻蚀+1 台,湿法清洗+1 台,后道测试机+1 台;华力微电子:干法刻蚀+1 台,前道计量+2 台;长江存储:CVD+22 台,ALD+1 台,ECP+2 台,干法刻蚀+24 台,前道计量+13台,湿法清洗+9 台,去胶+7 台,化学机械研磨+6 台,退火+2 台,后道测试机+8 台,后道分选机+6 台,后道封装+2 台;

      上海积塔半导体:干法刻蚀+1 台,湿法刻蚀+1 台,湿法清洗+1 台,去胶+1 台,涂胶显影+4 台,离子注入+2 台,氧化扩散+2 台,后道封装+1 台;上海新微:前道检测+2 台,后道测试机+1 台;上海新硅聚合:CVD+1 台;

      比亚迪半导体:后道分选机+11 台,后道封装+38 台;福建晋华:前道检测+1 台,后道测试机+2 台;国内设备厂商中标数据:

      北方华创:PVD+1 台,CVD+1 台,干法刻蚀+1 台,热处理设备+2 台;中微公司:干法刻蚀+10 台;

      芯源微:去胶+1 台,涂胶显影+5 台;

      盛美半导体:湿法刻蚀+1 台,湿法清洗+1 台;沈阳拓荆:CVD+1 台;

      上海微电子:退火+3 台;

      华海清科:化学机械研磨+6 台;

      屹唐半导体:干法刻蚀+1 台,去胶+7 台;

      中科飞测:前道检测+2 台,前道计量+2 台;

      投资建议:建议关注半导体设备投资标的:上市公司有北方华创、中微公司、华峰测控、芯源微、至纯科技、长川科技、华兴源创、盛美半导体、精测电子、万业企业(凯世通)、晶盛机电、光力科技、ASM Pacific,非上市公司有屹唐半导体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。

      风险分析:国产化进度不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。