至纯科技(603690)：技术不断突破 订单高增长

　　事件：公司发布2021年半年报，2021H1公司实现营业收入9.20亿元，同比增长76.51%；归属于上市公司股东的净利润1.50亿元，同比增长395.51%。

    　　事件点评：

    　　集成电路产业高景气驱动公司营收高增长，净利润高增长主要由非经常性损益贡献。2021H1公司实现营业收入9.20亿元，其中高纯工艺集成系统的营业收入为5.81亿元，同比增长53.40%；半导体设备的营业收入为2.69亿元，同比增长254.02%；光传感及光器件的营业收入为0.69亿元，同比增长2.76%。公司营业收入高增长，主要受益于集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加。据国家统计数据，今年上半年国内集成电路产量同比增长46.07%。2021H1，公司扣非后归母净利润为4,263.52万元，同比增长69.06%，非经常性损益为1.08亿元，其中计入当期损益的政府补助7,801.84万元,该项目主要包括光电子项目补助6,780万元。

    　　高纯工艺系统业务板块多项目研发落地、放量在即。2021H1，至纯集成获得了9.8 亿元的新增订单，高纯工艺系统多种产品放量在即。经过2020 年的研发投入，半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）已研发完成，并接到核心客户的首台订单，将于2021 年3 季度搬入上线测试进入验证阶段；今年上半年，干式特殊气体排放处理设备（DryScrubber）通过多个12 寸半导体工厂验证，并在6 个月内获得超过80台设备的订单；首个服务于12 寸半导体的电子级大宗气工厂处于建设高峰中，主要设备开始搬入，预计在2021 年3 季度进入调试，年底投入运行。

    　　12寸单片设备不断突破，晶圆再生项目量产。1）目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付　　到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套是中国大陆（中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技）以及中国台湾（力积电）等老客户的重复订单；11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破（绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等）。湿法设备的研发仍在持续投入中，湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。

    　　2）公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合，又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产，产能需要一定时间爬坡，有望在2021年度贡献2个月度的产值。

    　　订单高增长，半导体设备处于快速发展阶段。公司整体业务新增订单17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。报告期新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，超过去年13.6亿元的订单规模，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。

    　　综合毛利率下降，下半年有望回升。公司综合毛利率为30.87%，较去年同期下降3.21Pct。高纯工艺集成系统毛利率31.34%，同比下降0.42Pct；半导体设备毛利率23.91%，同比下降5.9Pct，主要系低毛利产品占比提升，下半年产品结构调整后有望回升；光传感及光器件，毛利率53.13%，同比下降2.22Pct。

    　　投资建议：

    　　我们预计公司2021-2023年的净利润分别为3.39/4.09/4.92亿元，EPS分别为1.07/1.28/1.55元，当前股价对应PE为50/42/34倍。考虑集成电路行业处于高景气周期，公司设备研发不断取得技术突破，订单高增长，我们将其评级由“中性”上调“增持”投资评级。

    　　风险提示：

    　　人才流失风险；行业竞争加剧风险；下游需求放缓风险。