半导体设备行业：成熟制程投资再加码 国产设备加快渗透

中芯国际拟在上海临港投资成熟制程，有望积极落地。中芯国际发布公告，公司于9 月2 日与上海自贸试验区临港新片区管委会签署合作框架协议，将共同成立合资公司，规划建设产能为10 万片/月的12 英寸晶圆代工生产线项目，聚焦于提供28nm 及以上技术节点，该项目计划投资约88.7 亿美元。该项目是晶圆厂现实需求与临港新片区集成电路产业发展规划的良好契合，有望迎来积极落地。一方面，由于成熟制程需求高涨、代工厂供不应求，包括中芯国际、联合电子等纷纷拓产成熟制程；另一方面，根据上海临港“十四五”规划，培育形成智能新能源汽车、集成电路、高端装备制造3 个千亿级产业集群，其中到2025 年，集成电路产业规模突破1000 亿元。

    成熟制程领域，半导体设备自主化取得长足进步，有望充分受益。17年以来国内半导体设备行业的国产化持续加速，当前在各个半导体设备细分领域，国产半导体设备厂商都取得了长足进步，特别是在成熟制程领域，包括刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP、清洗设备等等领域，均有国产设备厂商登上舞台，不仅突破了海外巨头垄断局面，并且部分领域在部分客户的份额已经超过10%甚至更高。伴随着下游客户国产化进程、以及设备商持续的高研发投入，国内半导体设备厂商持续展现了份额进一步提升的潜力。下游晶圆厂纷纷加码成熟制程，国内半导体设备厂商有望充分受益。一方面，前期客户认证通过的设备有望持续放量；同时新客户、新产品都在持续储备中，国产半导体设备厂商有望持续高成长。

    投资建议：中国半导体产业的自主化过程已经开启，半导体设备国产化空间广阔。当前阶段，投资关注两条线：（1）重点关注成熟的一线设备，包括北方华创（广发电子覆盖）、中微公司*、华峰测控*；（2）关注细分领域迎来突破的新进企业，包括沈阳拓荆（拟上市）、华海清科（拟上市）、盛美股份（拟上市）、至纯科技、屹唐股份（拟上市）、精测电子*等。（带*的为和广发电子联合覆盖）

    风险提示：部分自美国出口的设备、配件及原材料供货期存在不确定性；国内晶圆厂在海外封锁下投资进度不及预期；下游行业景气度不及预期；国内设备研发进展不及预期；专利和技术侵权风险。