半导体设备行业点评：晶圆厂资本开支上修利好设备厂商 看好供给紧张带来的设备国产化机遇

　　投资要点

    　　全球半导体维持高增长，设备销售额创历史新高2021Q1 全球半导体行业维持高增长。2021Q1，全球半导体销售额累计为1206.5 亿美元，同比+15.2%/环比+2.6%；全球设备销售额为235.7 亿美元，同比+51.4%/环比+21.1%，创历史新高。半导体设备出货额维持高位，北美设备制造商出货额连续6 个月实现正增长，2021 年4 月升至34.1亿美元，同比+49.5%。行业高增长主要系下游需求高涨导致。需求端，智能手机出现结构性回调，但PC、汽车以及IoT 仍旧拉动下游需求持续上扬，推动行业实现高增长。

    　　供给端仍处紧张状态，资本支出上修利好设备厂商目前半导体行业产能整体仍处在紧张状态，根据最新披露的各公司一季报，中芯国际产能利用率为98.7%，华虹半导体则升至104.2%，产能利用率仍旧维持高位。

    　　资本开支上修利好设备厂商。台积电上调21 年资本开支至300-310 亿美元，2021Q1 实际支出为88.4 亿美元，同比+38.3%。随着晶圆厂不断上调资本开支，叠加半导体设备的国产化率提升，我们认为国产厂商或将充分收益。

    　　外部形式变好，国产化上升空间大，进口替代逻辑逐步兑现国产化率上升空间大。2020 年中国大陆半导体设备销售额占全球市场26.3%，超越中国台湾，成为全球第一大市场，但国内半导体设备自制率仍较低，2020 年国产化率仅为约16%。

    　　外部形势变好，核心制程环节设备公司获益。中微半导体设备（上海）股份有限公司发布公告称，公司9 日早获悉，美国国防部将 AdvancedMicro-Fabrication Equipment Inc. （简称“AMEC”）从中国涉军企业名单中删除。说明头部设备公司未来在业务拓展，人才储备，产品出口等未来将会更加便利。

    　　中微和北方华创均处于快速发展期。（1）中微公司：不断在客户验证更多成熟工艺和先进工艺，在CCP 和ICP 刻蚀方面的应用拓展都取得了良好进展。尤其值得关注的是ICP 的进展顺利。（2）北方华创：2019~2020年，北方华创12 英寸硅刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等多款高端半导体设备相继进入量产，2020 年下游客户需求旺盛，高端设备营收同比增长，成熟工艺设备突破新工艺，新工艺产品陆续进入客户验证或量产，产品频获客户重复采购订单。

    　　看好清洗设备率先国产化，主要系其技术门槛较低，短时间内容易实现突破。根据至纯科技2020 年报，2020 年公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30 台。单片式湿法设备新增订单金额超过3.6 亿元。

    　　检测设备赛道好，国产化空间大。下游封测厂增加资本开支，持续扩产利好设备商。2020 年11 月通富微电定增32.5 亿元，用以集成电路封测及车载品封测项目；2021 年1 月华天科技发布公告募集资金51 亿元用于扩大产能；2021 年4 月长电科技定增50 亿元用于扩产，可以预见扩产会伴随大量的设备采购。

    　　投资建议：重点推荐【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头；【北方华创】多业务布局的晶圆设备龙头；重点推荐【至纯科技】，国内清洗设备龙头，2020 全年槽式设备+单片设备出货30 台，目前处于产能扩张阶段；重点推荐【华峰测控】半导体测试设备龙头；建议关注【华兴源创】半导体测试设备新进入者。

    　　风险提示：晶圆厂扩产不及预期；设备国产化不及预期。