深度*公司*万业企业(600641)：首度签订1亿元订单 用于晶圆制造的离子注入机加快商业化

公司发布公告，公司的控股孙公司北京凯世通向芯成科技（绍兴）出售3 款12 英寸离子注入机。

    支撑评级的要点

    用于12 英寸产线的离子注入机加快商业化。公司旗下凯世通集成电路离子注入机迎来商业客户及批量订单的重大突破。万业企业控股孙公司北京凯世通半导体有限公司与芯成科技（绍兴）有限公司签署销售合同，拟出售3 台12 英寸集成电路设备，分别为低能大束流重金属离子注入机（Sb implanter）、低能大束流超低温离子注入机（Cold implanter）以及高能离子注入机（HE implanter），订单金额超过1 亿人民币(含税)。

    离子注入机是集成电路制造“卡脖子”设备。离子注入机是集成电路制造FEOL 中的核心设备，主要用于制作CMOS 中的p-well 和n-well。从价值量看，根据SEMI，离子注入机价值占晶圆制造设备的3%左右，对应市场空间大约为15 亿美元；竞争格局方面，全球离子注入设备主要被美国应用材料(70%)、美国亚舍立(19%)和日本住友(10%)三家公司垄断。

    万业企业旗下凯世通有望推动离子注入国产化。根据中国国际招标网，本土主要晶圆产线离子注入机国产化率仅为1%。从具体工艺看，此前本土某28nm 和某65-55nm 产线中可以国产化的仅为中束流离子注入机，高能离子注入机仍然完全依赖进口。此次，凯世通的低能大束流离子注入机、高能离子注入机实现销售标志着国产离子注入机能够覆盖的工艺进一步增加，也有望推动离子注入机加速实现从1 到N 的过程。

    估值

    我们维持公司收入预测和利润预测不变，目前集成电路领域的离子注入机国产化势在必行，维持增持评级。

    评级面临的主要风险

    科技战延伸到零部件进口受影响；本土晶圆厂扩产推迟等。