至纯科技(603690)：槽式清洗设备订单超预期 单片清洗设备正式交付

　　事件

    　　根据至纯科技官方微信号信息，6 月19 日，公司交付给华虹集团ICRD 的12 寸单片式湿法设备正式搬入。

    　　简评

    　　槽式设备订单充足，进度超预期，Q2 起出机已超过10 台：

    　　①目前公司湿法工艺设备包括槽式及单片设备。至2019 年末，已经完成了多个工艺的8/12 寸全自动槽式装备、4 腔单片装备、12 寸12 腔先进工艺单片装备的研发及制造，产品线较为完善。

    　　其中槽式设备是与日本团队以全资子公司的形式合作生产、单片设备与韩国合作方IP、利润、技术共享；

    　　②从槽式产品发展进度看，公司2018 年开始取得订单，2019 年中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等用户的第一批装备基本完成交付，中芯有6 台装备投入使用，包括清洗、刻蚀、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。同时，2019 年大部分老客户均重复购买公司湿法装备，这是对于首批交付产品在实际生产中使用结果的最佳反馈。此外，公司新增加了华虹集团ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、华为等用户，而台湾力晶是中国大陆以外的首个湿法装备订单。总体来看，截至2019 年末，公司已经取得近40 台正式订单，已经完成近20 台设备装机，包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。2019 年湿法工艺装备的新增业务订单总额达约1.7 亿，远超之前的规划；

    ③2020 年以来，虽一季度受疫情影响，但Q2 起公司单片清洗和槽式湿法设备出机超过了10 台。其中槽式设备自3 月下旬开始，以每月2-3 台的数量交付设备给客户。交付的设备中，涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤，包括光阻去除设备(PRS)、预清洗设备（Pre Clean）、有机溶剂清洗设备（Solvent）、金属剥离设备（metal lift off）等。产品品类完善，客户认可度较强。考虑到国内特色工艺产线/8 寸线等目前仍处于投资额持续上升的状态，基于公司目前在槽式清洗的卡位优势，公司未来订单仍有望持续增长。

    　　单片清洗设备的突破成为公司下一阶段发展的最大看点：

    　　①总体来看，我们判断全球半导体湿法清洗设备行业市场规模约30 亿美元，其中大陆市场目前规模约为10 亿美元左右；在两大类清洗设备中，槽式清洗设备主要用在炉管前的清洗、去胶和薄膜沉积前的清洗、铜/钛刻蚀前清洗和氧化层/氮化硅刻蚀的清洗。而当工艺节点缩小到100nm 以下时，为了提高清洗性能，晶圆厂逐步切换至单片清洗设备。因此，在集成电路制造的先进工艺中，单片清洗已逐步取代槽式清洗成为主流。同样的，我们结合清洗设备领域龙头迪恩士2020 年的财报来看，清洗设备收入中单片清洗设备占比达到了65%，进一步说明了单片清洗设备逐渐成为湿法清洗工艺中最主要的设备类型；

    ②因此，我们认为在单片清洗设备领域的布局和突破成为公司下一阶段最为重要的看点。公司此次单片设备正式交付华虹集团ICRD，标志着公司单片设备的技术已经成熟、并且已经取得下游认可。根据公司新闻，其单片湿法清洗设备相关技术能力&性能标杆国际大厂的相关产品，在晶圆表面颗粒清洗能力以及每小时的产出量等关键性的指标工艺上，机台性能和工艺可以支持到14nm 以下的工艺技术节点，满足客户对工艺的要求。

    　　包括清洗设备而在内，公司已基本完成BU1-5 业务布局，贯穿客户全生命周期：

    　　①公司目前资源的重点布局是集成电路（半导体）领域，公司BU1（高纯工艺系统）、BU2（湿法设备及晶圆再生服务）、BU3（电子材料及部件）均服务于半导体板块，服务于同一批客户，但产品和服务对应的是用户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期。与此同时，公司还有生物制药板块（BU4）、波汇科技为代表的光电子板块(BU5)；

    　　②在五年规划中，公司的目标是系统集成事业部（BU1，至纯集成）每年目标超过10 亿订单贡献；湿法事业部（BU2,至微科技）五年内有超过200 台各类湿法清洗机台的装机量；材料零部件事业部（BU3，至一电子） 将投资和开发集中于28-14 纳米制程的高纯电子材料和相关零部件；湿法事业部（BU2,至微科技）投资和发展晶圆再生服务；生物制药和食品饮料领域（BU4, 珐成浩鑫）大力发展模块化工艺系统；光纤传感业务和光器件业务（BU5,波汇科技）成为细分应用龙头。总体看，公司目前业务布局更加清晰，长期发展逻辑更加通顺。

    　　投资建议：公司目前业务围绕下游客户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期展开。主业高纯系统方面，受益于近两年国内半导体厂商建厂高峰，公司高纯系统订单保持稳定增长，且利润率有望持续回升；清洗设备方面，公司槽式湿法设备已累计取得近40 台正式订单，产品线逐渐丰富，且交付顺利，深受客户认可；单片清洗设备也已经成功完成交付，成为公司下一阶段发展的最大看点。预计公司2020-2022 年收入分别为13.29/17.77/22.76 亿元，归母净利润分别为1.88/2.60/3.38 亿元，给予目标价54.2 元，给予“买入”评级。