至纯科技(603690)：12寸单片湿法设备实现交付 未来可期

　　核心观点：

    　　12 寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD，清洗设备业务迈出突破性一步。根据公司官方微信，公司交付给华虹集团ICRD 的 300MM 单片式湿法设备于6 月19 日正式搬入。ICRD（上海集成电路研发中心有限公司）是国家支持组建、产学研合作的国家级集成电路研发中心，拥有目前国内唯一开放的12 英寸集成电路先进工艺研发和国产设备材料评价验证中试线，帮助国内集成电路企业开展各类研究和工艺验证。ICRD 拥有浸没式193nm 光刻机、硅刻蚀机、原子层薄膜生长（ALD）、高能离子注入机以及全套铜互连和Low-K 等先进工艺设备工艺研发能力可达14 纳米以下。至纯科技12 寸单片湿法清洗设备进入ICRD，是公司清洗设备业务迈出突破性一步，通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。

    　　槽式设备批量交付，有望实现快速增长。根据公司官方微信，3 月下旬开始公司以每月2~3 台的数量交付设备给客户（包括华润微、楚微，中车，燕东，台湾力积电等客户）。交付的设备中，涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤。槽式湿法设备的交付目前已经获得许多客户的重复订单，并且还有许多新客户加入。根据2019 年年报，公司已取得近40 台正式订单，已完成近20 台设备装机。虽然Q1 受疫情影响，当前公司槽式清洗设备交付情况良好，公司清洗设备业务有望加速增长。

    　　投资建议：预计2020-2022 年收入分别为14.5/20.2/25.0 亿元，对应PS 分别为6.6/4.7/3.8 倍；EPS 分别为0.90/1.50/1.88 元/股。维持前次合计价值50.67 元/股，对应公司20 年9 倍PS。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。

    　　风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。