半导体PVD设备行业专题报告:国产PVD持续突破 产线拉动快速增长

类别:行业 机构:国泰君安证券股份有限公司 研究员:王聪/张天闻 日期:2020-01-18

本报告导读:

    受益于关键内资产线拉动效应数倍增长以及国产CuBS PVD 设备技术打破垄断市场渗透率提升,国产PVD 设备需求将进一步增大并迎来发展新阶段。

    摘要:

    投资建议。受益于关键内资产线扩产拉动以及技术不断取得新突破,国产设备市场需求将不断增大。推荐设备龙头中微公司(688012.SH)及北方华创(002371.SZ)。同时清洗设备龙头盛美半导体(ACMR.O)、芯源微(688037.SH)、沈阳拓荆、华海清科、北京屹唐以及上海微电子也受益产业发展。

    关键的PVD 设备主要包括硬掩膜Hard Mask PVD 设备、铜互连CuBSPVD 设备以及铝衬垫Al PAD PVD 设备三种。(1) Hard Mask PVD 设备主要可实现硬掩膜低介电材料的沉积,在IC 制造流程的前段(FEOL)和后段工艺(BEOL)中应用广泛。(2)CuBS PVD 设备可以完成阻挡层和铜种籽层沉积,且市场规模最大占比约70%但国产化率最低,目前国产设备已经成功打破垄断。(3)Al PAD PVD 设备在晶圆制造最后一步使用,其在产线中占比较小,但是内资产线此类设备的国产化率较高。

    PVD 设备总需求都有望进一步提升。产线中PVD 设备投资额占晶圆投资设备的10%。我们预估包括长江存储、华虹系等在内的9 条内资产线PVD 设备需求规模可在2020 年达到80 亿元左右(YOY70%),内资产线国产PVD 设备需求规模有望从2019 年的2.3 亿元提升到5.6 亿元。

    PVD 设备AMAT 一家独大市占率超80%且过去一直垄断CuBS PVD 市场,目前国内厂商CuBS PVD 设备已经在存储产线打破垄断,未来潜在市场空间巨大。(1)存储器产线:北方华创开年成功中标长江存储3 台CuBS(铜互连)PVD 订单,成功打破AMAT 垄断,成为世界上第二家掌握该技术的厂商,未来将随着产线扩产而持续渗透。(2)逻辑代工产线:逻辑芯片制造中对CuBS PVD 需求量是存储器产线的4-5 倍,达到月产能10 万片预计需要超过40 台CuBS PVD 设备。目前北方华创导入进度良好,随着中芯国际、华虹系等持续扩产,国产CuBS 设备潜在订单空间巨大。(3)我们根据产能规划,预计中芯国际、华虹系、合肥长鑫(一期)以及长江存储(一期)在实现达产前,对CuBSPVD 设备市场需求规模总计超过40 亿元。

    风险提示。设备公司新产品开发及验证进度不及预期的风险。下游产线资本支出不及预期带来的风险。中美贸易摩擦的不确定性的风险。